Ученый из Калининграда принял участие в научной школе-конференции по современным технологиям рентгеновской литографии

Сотрудник Международного научно-исследовательского центра «Когерентная рентгеновская оптика для установок «Мегасайенс» (МНИЦ «РО») БФУ им. И. Канта Дмитрий Зверев принял участие в научной школе-конференции «Использование синхротронного излучения для разработки и исследования перспективных материалов и наноструктур для технологии рентгеновской литографии», которая прошла в рамках XXXI Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика – 2024» 26 апреля в Национальном исследовательском университете «МИЭТ».

Программа мероприятия включала доклады, посвященные инструментальным возможностям, которые открывает синхротронное излучение для рентгеновской литографии. Важное место занял обзор конструктивных особенностей установок рентгеновской литографии, а также обсуждение оптических решений, без преувеличения являющихся основой современного рентгеновского литографа.

Дмитрий Зверев выступил с докладом, посвященным возможности создания преломляющей оптики для использования в рентгеновской литографии. Он представил основные результаты и достижения научной команды МНИЦ «РО» в области создания и применения рентгеновской преломляющей оптики, а также устройств на ее основе. Особое внимание было уделено новым решениям и концепциям для проектирования оптических устройств безмасочной рентгеновской литографии. Отдельный доклад о теоретических расчетах преломляющей оптики для безмасочной рентгеновской литографии был представлен Корнеевым В. И. (МИЭТ).